问题——散热成为制约高性能芯片的“硬门槛”。
随着5G通信、雷达探测、卫星互联网和高端装备对高频高功率器件需求快速增长,第三代半导体尤其是氮化镓器件因高击穿场强、高电子迁移率等优势,被广泛看作射频功率器件的重要方向。
然而,器件在高功率密度工作时会产生大量热量,若热量无法及时导出,将直接引发性能衰减、稳定性下降,甚至导致器件失效。
散热能力由材料与结构共同决定,其中晶体成核层的界面质量长期被认为是影响热传导的关键环节之一。
原因——成核层界面粗糙导致热传导受阻。
业内长期采用的外延生长路线中,氮化镓晶体成核层表面存在不平整问题,界面微观起伏使热量在传导过程中发生更强散射与阻滞,等效热阻增大,热管理难度随功率密度提升而加剧。
相关技术瓶颈被视为困扰该类芯片多年的共性难题:既要保证外延质量与器件电学指标,又要在有限的结构空间内打通热通道,实现可靠散热。
影响——热阻显著下降带来器件性能与应用能力同步提升。
据西安电子科技大学介绍,郝跃院士团队提出并实现了一种新的界面调控思路:在第三代半导体芯片晶体的关键层引入高能离子,使成核层表面实现平整化,从而改善界面热传导条件。
测试结果显示,该方法可将半导体热阻降低至原来的三分之一,为高功率密度器件稳定运行提供了更大的设计裕度。
在器件层面,基于该技术制备的氮化镓微波功率器件单位面积功率较同类型先进器件提升约30%至40%。
这意味着在探测装备中可提高发射与接收链路能力、拓展有效探测距离;在通信基站等场景中有望实现更广覆盖与更低能耗,为提升网络质量与能效提供新支撑。
对终端用户而言,随着相关器件逐步工程化,偏远地区信号接收、续航表现等体验也有望随系统能效提升而改善。
对策——以可复制的工艺路径推动材料集成与产业转化。
第三代半导体的发展不仅取决于单项指标突破,更依赖从材料、外延、器件到封装散热的系统协同。
此次进展的价值在于给出了一条可操作的界面工程路线:通过离子调控改善成核层形貌与界面传热,从源头降低热阻,为后续实现高质量集成提供了方法支撑。
下一步,需要在规模化制造中进一步验证工艺窗口的稳定性与一致性,评估对良率、可靠性、寿命以及成本的综合影响,并与器件结构设计、封装散热方案协同优化。
同时,还需完善标准化测试与评价体系,形成从实验室指标到工程应用指标的贯通,推动成果更快转化为可用、可测、可量产的技术能力。
前景——从“解决散热”走向“释放功率密度”的更大空间。
随着高频化、集成化和小型化趋势加速,散热将持续成为高性能芯片演进的关键变量。
研究团队还在探索将金刚石等更高导热材料引入半导体体系,若相关攻关取得进展,器件功率处理能力有望进一步跃升,带动探测、通信、电力电子等领域系统能力升级。
从更宏观的产业视角看,围绕关键材料与核心工艺形成自主可控的技术体系,将为我国在第三代及未来半导体竞争中争取更大主动权,提升产业链韧性与创新能力。
相关成果已发表于《自然·通讯》和《科学进展》,显示了我国高校在基础研究与工程需求交汇处开展原创性探索的阶段性收获。
这一科研突破充分体现了我国半导体领域自主创新的实力与决心。
从基础理论研究到工程应用,从材料创新到性能突破,西安电子科技大学团队用实际行动填补了国际技术空白,为我国在全球高端芯片竞争中赢得了主动权。
面对日益复杂的国际形势,这样的原始创新成果不仅代表了科技进步的方向,更为国家战略性新兴产业发展提供了有力支撑。
可以预见,随着相关技术的进一步完善和广泛应用,必将在通信、能源、国防等多个领域产生深远影响,为经济社会高质量发展注入新的动力。