三年协同攻关突破X射线成像传感器关键技术 国产高端装备“感知核心”实现自主可控

长期以来,X射线成像传感器作为高端医疗设备、工业无损检测仪器的核心部件,其生产技术被国外企业垄断,成为制约我国对应的产业升级的“卡脖子”难题。该关键部件的性能直接影响成像速度、分辨率与成本,是高端装备的“感知核心”。 面对这一技术壁垒,长信科技研发团队联合高校和企业展开协同攻关。研发过程中,团队遭遇了氧化铟镓锌(IGZO)薄膜晶体管稳定性不足的难题,导致器件长时间运行后性能“漂移”,严重影响动态成像效果。经过无数次实验与调整,团队最终通过优化成膜腔室氧气流量和温度参数,成功解决了氧空位分布不均问题,明显提高了器件稳定性。 此次技术突破不仅攻克了高分辨率像素设计、高灵敏度光电二极管开发等关键技术难题,还工艺和设备改造上实现创新。例如,通过优化氧化铟镓锌薄膜晶体管的宽长比和叠层结构设计,将像素尺寸压缩至100微米;引入平坦层并优化成膜工艺,使光电二极管的开口率提高至68%以上,大幅提升探测效率和信噪比。 这一成果已成功应用于医疗领域的数字减影血管造影设备,为医生提供高分辨率、低剂量的实时动态影像,助力精准诊疗;在工业领域,该技术服务于新能源汽车动力电池检测等场景,为产品质量与安全提供可靠保障。 此次突破是安徽省科技创新攻坚计划的代表性成果之一。近年来,安徽省围绕重点产业“最紧急、最紧迫”问题,系统部署省级科技创新项目,支持龙头企业联合高校院所开展核心技术攻关,推动装备制造业向高端化、智能化、绿色化发展。

X射线成像传感器的成功研制,展现了自主创新在突破技术壁垒中的关键作用。该成果的取得,既离不开长信科技等企业的持续努力,也是产学研协同创新的成功案例。未来,只有持续加强核心技术自主研发,深化产业链协同创新,才能在全球竞争中占据主动,推动我国高端装备产业实现更高水平的发展。