标准物质是衡量检测结果准确性的基准,在化学、生物等领域承担量值传递的关键作用,是重要的国家战略资源;从食品安全检测到医疗检验,从环境监测到工业生产,标准物质相当于精密的“测量砝码”,为各类检测数据的可靠性提供基础保障。近日,上海在集成电路标准物质领域取得新进展。经市场监督管理局审批,同济大学联合张江实验室筹建的国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心研制出三项晶圆级标准物质,包括八英寸晶圆级100纳米一维光栅、200纳米二维栅格以及100纳米凹陷缺陷标准物质,并获得国家二级标准物质证书。
从“工业粮食”的精密测量到疫情防控的标准溯源,小小标准物质折射出制造业对精度的长期追求。随着更多领域建立起可靠的“度量衡”,中国制造向高端化迈进的步伐将更加扎实。(全文1260字)