从90纳米破冰到12英寸碳化硅装备交付 国产半导体设备加速由点到链突围

长期以来,半导体设备制造被国际巨头垄断,成为制约中国芯片产业发展的关键瓶颈。但这个局面正在发生变化。从2023年安芯半导体交付首台90纳米光刻机,到今年电科装备12英寸碳化硅设备成功交付,国产半导体设备在短短数年内实现了从微米级能力到12英寸晶圆应用的跨越。这不仅是参数提升,更是产业突围进程中的重要节点。

半导体设备的突破,折射出我国科技自主能力的持续提升。从跟跑到并跑——再到未来争取领跑——不仅取决于关键技术进步,也取决于产业链上下游的协同攻关。在全球科技竞争加速的背景下,中国半导体产业每一次向前跨越,都会为高质量发展提供新的支撑。