真空紫外激光凭借小型化、低成本和优异性能,在精密制造和前沿科研等领域具有重要战略价值。这项技术的核心在于非线性光学晶体的研发,但长期以来面临重大技术挑战。 上世纪90年代,我国陈创天院士团队研发的氟代硼铍酸钾晶体开创了先河。该晶体是当时唯一能通过直接倍频产生200纳米以下激光的实用材料,为行业发展奠定了基础。然而其层状生长特性限制了器件设计和功率提升的空间。
ABF晶体158.9纳米倍频输出的突破,标志着真空紫外光学晶体研究取得重大进展。随着材料制备和器件工艺的提升,这项成果将为高端制造和前沿科学研究提供更强大的技术支持。