问题—— 随着5G/6G通信、雷达探测、卫星互联网等应用对高频、高功率、高可靠器件需求快速增长,芯片散热能力正成为制约性能继续提升的关键因素。
业内普遍面临的难点在于:不同材料层之间往往形成不连续的“岛状”连接结构,界面凹凸不平导致热量传导受阻,局部区域易出现“热堵点”。
一旦热量无法及时导出,器件指标会下降,严重时甚至引发失效,影响系统稳定性与寿命。
自相关成核技术在2014年获得国际学术界高度关注以来,如何在异质材料集成中同时兼顾高质量生长与低热阻传热,一直是全球科研与产业界攻关重点。
原因—— 从材料学角度看,异质外延或多材料堆叠过程受晶格失配、热膨胀系数差异、表面能与缺陷分布等因素影响,容易出现随机成核与非均匀生长。
传统路径下,成核层表面不平整,多晶岛并存,导致界面实际接触面积不足、声子传输受散射、热阻增大。
这种“界面不连续+粗糙度较大”的结构,使散热从材料本征导热问题转化为界面工程问题,进而成为射频芯片提升功率密度的突出瓶颈。
换言之,芯片功率越高,热流密度越大,界面越“粗糙”,热量越难跨越材料边界,形成恶性循环。
影响—— 针对上述痛点,西安电子科技大学团队提出并实现“离子注入诱导成核”技术路线,将原本随机的生长过程转变为可控、均匀的精准成核与生长过程。
其核心在于通过离子注入手段调控成核条件,使氮化铝层由“多晶岛状”形貌转变为原子级平整的“单晶薄膜”,从结构上打通热量跨界面传导通道。
实验结果显示,新结构界面热阻降至传统方案的约三分之一,为高功率器件持续稳定运行提供关键支撑。
更具现实意义的是,该界面工程突破直接反映到器件性能上:团队基于该技术制备的氮化镓微波功率器件,在X波段与Ka波段的输出功率密度分别达到42瓦/毫米和20瓦/毫米,较公开国际纪录实现约30%—40%的提升。
对工程应用而言,这意味着在相同芯片面积条件下,可获得更高功率输出与更强系统能力:雷达探测距离有望增加,通信基站覆盖范围可扩展且能效更优,高频装备的小型化与可靠性也将同步受益。
对策—— 从解决路径看,此次进展的价值不仅在于“把热阻降下来”,更在于提出了可复制、可推广的界面集成方法论:将氮化铝从特定场景的“黏合剂”材料,拓展为适配多种异质材料体系的“通用集成平台”,为“不同材料如何高质量结合”提供可操作的技术方案。
对于第三代、第四代半导体普遍面临的热管理问题,这种以界面可控生长为核心的策略,有望带动从材料制备、器件结构到系统封装的链条式优化,促使高功率射频器件从“可用”向“好用、耐用、稳定用”迈进。
同时,这类技术突破也提示产业界:提升芯片性能不能仅依赖单一材料的本征指标堆叠,更需要在界面、缺陷、应力与热—电耦合等关键环节形成系统化工程能力,才能在高频高功率领域实现可持续迭代。
前景—— 面向未来应用场景,高功率密度器件的竞争将加速向“散热与集成能力”集中。
随着终端和基站对能效、续航、稳定性的要求不断提高,低热阻界面将成为提升系统性能与降低能耗的重要抓手。
该团队表示,下一步将面向导热性能更强的金刚石等材料推进研究,若在更高导热体系中进一步打通材料集成与界面热传导路径,器件功率处理能力有望再上一个量级。
可以预见,随着相关成果从实验室验证走向工程化成熟,其在高端通信、航空航天、先进雷达等领域的应用空间将持续扩大,并为我国在高频高功率核心器件领域提升自主可控能力提供支撑。
从岛状到薄膜的转变,不仅是材料形态的改变,更是技术思维的革新。
西安电子科技大学团队以原创性技术路线破解国际难题,为中国半导体产业在关键核心技术领域赢得了话语权。
这一成果再次证明,坚持自主创新、勇于攻克基础性科学问题,是实现高水平科技自立自强的必由之路。
随着该技术不断成熟并走向产业化应用,中国在新一代半导体器件领域的竞争力将获得实质性提升,为构建安全可控的产业链供应链提供坚实技术支撑。