罗茨真空泵能不能和旋片真空泵串在一起用?

我和很多朋友聊起过一个问题,罗茨真空泵能不能和旋片真空泵串在一起用?答案挺简单的,当然可以。这两套设备在一起干活儿,就是一个取长补短的事儿。 先说罗茨真空泵的强项,它能像抽水机一样,流量很大,还能把真空度拉得很高,极限真空能到10⁻²Pa。不过它有个要命的弱点,就是不能直接在大气环境下开机,必须得先让另一个泵把空气抽得差不多了,也就是抽到1000Pa以下才行。要是直接启动它,电机很容易卡死,转子也容易弄坏。 再看看旋片真空泵,它的优势是不需要那么多讲究,能直接从正常大气压开始抽气。启动门槛低,结构也简单,价格也相对便宜。这种泵最适合在刚开始抽真空的时候用。不过它的缺点也很明显,抽气的速度不够快,极限真空度也就1Pa左右,很难满足更高的要求。 把它们连在一起用正好弥补了这两个短板。旋片泵做第一级,先把空气从常压抽到低真空状态;罗茨泵做第二级,在这个基础上接着抽,就能快速把真空度拉上去,还能增加抽气的流量。这样一来,“1+1大于2”的效果就出来了。 不过具体怎么安装还得注意几件事。第一是得把参数给对上,旋片泵的排气量稍微比罗茨泵的进气量多一点比较好。要是前级泵抽得不够快,气体会在后面的泵腔里堆积起来,容易导致罗茨泵过热或者振动。第二是安装的顺序不能弄反,必须是旋片在前、罗茨在后。要是顺序颠倒了,罗茨泵根本没法启动,电机还容易烧了。第三是接口要密封好,别漏气了。另外进气端最好加个过滤器,把粉尘和杂质挡住,不然会磨损泵的转子和腔体。 总结一下,罗茨和旋片串联是个特别实用又经济的组合。在做真空镀膜、实验室研发或者精密加工的时候都能用到。只要参数配好、安装得当,就能稳稳当当实现高效又高真空的抽气效果。